| 首頁(yè) > 顯微鏡 > 掃描探針顯微鏡 > 鏡面外觀缺陷檢測(cè)系統(tǒng) |
鏡面外觀缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
產(chǎn)品介紹產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 晶圓、基片及精密光學(xué)元件表面缺陷自動(dòng)篩查和量測(cè) 檢測(cè)對(duì)象： 晶圓片、蓋板、基片、精密光學(xué)元件（平晶，棱鏡，玻片等） 面向行業(yè)： 半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、3C蓋板及光學(xué)基片、光學(xué)拋光加工
技術(shù)參數(shù)技術(shù)參數(shù)： Ø 缺陷最大檢測(cè)口徑300X200mm （覆蓋8寸晶圓，可訂制12寸晶圓機(jī)臺(tái)） Ø 缺陷檢測(cè)分辨率最高0.5um Ø 缺陷檢測(cè)類型： 麻點(diǎn)、劃痕、紋理、異色、破邊等 Ø 自動(dòng)缺陷識(shí)別及尺寸量測(cè) Ø 手動(dòng)上下片，支持半自動(dòng)和自動(dòng)上下片的開(kāi)發(fā) Ø 技術(shù)特點(diǎn) Ø 采用多模式成像確保各種不同類型的缺陷能夠被檢測(cè) Ø 可以按照20/10、40/20、60/40標(biāo)準(zhǔn)對(duì)缺陷進(jìn)行量測(cè)判定 Ø 軟硬件可以按照實(shí)際樣品檢測(cè)需求進(jìn)行訂制 可附帶增加檢測(cè)基片三維翹曲功能 ◆ 測(cè)量實(shí)例
麻點(diǎn)和劃痕 表面紋理 |
 |
|||||||
 |
|
FM-AR532/AR785原子力顯微鏡與激光拉曼光譜儀一體機(jī) 對(duì)納米材料表面形貌、顆粒度、粗糙度和拉曼光譜性能進(jìn)行表征、分析 |
|
 |
|
FM-Nanoview1000AFM 分體式原子力顯微鏡 帶光學(xué)定位的CCD觀測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針樣品掃描區(qū)域 |
|
|
|||||||
|
|||||||
 |
|
FM-Nanoview6800一體式原子力顯微鏡 開(kāi)啟全民原子力顯微鏡時(shí)代，掃描范圍更廣，定位更精確 |
|
 |
|
自由曲面三維面型檢測(cè)系統(tǒng) |
|
|
|||||||
|
|||||||
 |
|
原子力顯微鏡（環(huán)境控制型）FM-Nanoview EC-AFM |
|
 |
|
原子力顯微鏡光學(xué)一體機(jī) FM-Nanoview Op-AFM |
|
|
|||||||
|
| 首頁(yè) > 顯微鏡 > 掃描探針顯微鏡 > 鏡面外觀缺陷檢測(cè)系統(tǒng) |
批量采購(gòu)
配送方式
技術(shù)咨詢
聯(lián)系我們
打印該頁(yè)
