美國Micro-VU Spectra臥式投影儀
技術(shù)參數(shù)
| 型號 |
Spectra Bench Optical |
Spectra Floor Optical |
| 量測行程 |
300x150x75mm |
300x150x75mm |
| 外形尺寸 |
950x1075x1025mm |
950x1075x1775mm |
| 重量 |
114kg |
146kg |
| 承載重量 |
9kg |
| 平臺材質(zhì) |
鋼構(gòu) |
| 傳動方式 X&Y |
Steel Balls And Rods |
| XY 精度 |
Ux=2.5+L/25μm ，Uy=2.5+L/15μm |
| Z 精度 |
U=2.5 μm |
| XY 重現(xiàn)性 |
12.5μm |
| Z 重現(xiàn)性 |
7.5μm |
| 光學(xué)尺分辨率 |
2.0 μm |
| 影像 |
14’’ Erected, Bright And Sharp |
| 光源 |
輪廓光,表面光 |
| 鏡頭/放大倍率 |
10x, 20x, 31 1/4x, 40x, 50x, 100x |
| 量測系統(tǒng) |
Q16 Metrology Box 或 Optional Inspec Software |
| 工作環(huán)境 |
20℃±2°, 30-80% 濕度 |
| 電源系統(tǒng) |
110 或 220 VAC |
|
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