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美國Micro-VU Excel 650系列測量儀

Micro-VU Excel 650系列影像測量儀

SKU: Excel650

技術(shù)參數(shù)

型號 Excel651UM Excel651UC Excel652UM Excel652UC Excel654UM Excel654UC
量測行程  650x650x160mm 650x650x250mm 650x650x400mm
外形尺寸 1311x1604x1608mm  1311x1604x1788mm 1311x1604x2088mm 
重量  1530kg  1550kg  1550kg 
承載重量  100kg  100kg  100kg 
平臺材質(zhì)  鋼構(gòu) 
基座材質(zhì)  花崗巖 
傳動方式  Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z
電控系統(tǒng)  伺服系統(tǒng): CNC, 滑鼠, 搖桿 
電源系統(tǒng)  93-264 VAC, 47-63 Hz,最大10 Amp 
XY 精度  Uxy=2.5+L/300μm Uxy=2.8+L/300μm Uxy=3.2+L/300μm
Z 精度  Ux=2.5+L/150μm Ux=3.0+L/150μm Ux=3.5+L/150μm
XY 重現(xiàn)性  2.5μm 2.8μm 3.2μm
Z 重現(xiàn)性  2.5μm 3.0μm 3.5μm
XY 加速度  1000mm/S2
Z 加速度  500mm/S2
XY 移動速度  500mm/s
Z 移動速度  150mm/s
光學(xué)尺解析度  0.1μm
影像  黑白  彩色  黑白  彩色  黑白  彩色 
光源  紅光LED 白光LED 紅光LED 白光LED 紅光LED 白光LED
照明系統(tǒng)  表面光, 輪廓光,同軸光 
光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率  12x 光學(xué)/2.5x 數(shù)位 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 
軟體  InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista)
工作環(huán)境  20℃(68℉)±2°,30-80%濕度 

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