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雙探頭表面三維形貌分析系統(tǒng)

SKU: FM-DP-3D

技術(shù)參數(shù):

 

探頭A

探頭B

工作距離

11mm

19mm

量程

±190um

±1700um

最大傾角

±28°

±21°

光斑尺寸

10um

20um

分辨率

10nm

40nm

精度

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

最小厚度測(cè)量

12um

66um

最大厚度測(cè)量

511um

5098um

電動(dòng)臺(tái)參數(shù):

XY平臺(tái)

驅(qū)動(dòng)

直線磁軸電機(jī)

平臺(tái)大小

220X230mm

XY方向行程

100X100mm

分辨率

0.05μm

重復(fù)定位精度

<1μm

最大允許負(fù)重

2Kg

掃描速度

≤80mm/s

掃描間距

≥0.5μm

電氣特性

控制器(專用電腦)額定輸入

100-240V AC 5.3A 50/60Hz

驅(qū)動(dòng)器(專用機(jī)箱)額定輸入

48V DC 2.1A

傳感器輸入

24V DC 3A

注意事項(xiàng):
儀器成套性與可選購(gòu)件可參考產(chǎn)品原頁(yè)面,本頁(yè)只提供儀器核心技術(shù)參數(shù)。
產(chǎn)品價(jià)格均含有商品運(yùn)費(fèi)(大陸地區(qū)除外)及發(fā)票的價(jià)格但是不包含工程師上門培訓(xùn)及調(diào)試的費(fèi)用。
科信不保證網(wǎng)站展示產(chǎn)品的時(shí)效性,部分儀器可能已升級(jí),保留最終解釋權(quán)。
科信報(bào)價(jià):¥0.00