電子顯微鏡就是利用短光波來(lái)提高分辨力以檢視較小物體的。物鏡分辨力的高低與造象是否清楚有密切的關(guān)系。而目鏡沒(méi)有這種性能，因?yàn)槟跨R只放大物鏡所造的象。為此，提高電子顯微鏡放大率的方法可從以下幾個(gè)方面考慮：①保持良好的加速電壓。加速電壓不能很低， 正常應(yīng)保持在20~30KV。②盡量縮短工作距離。工作距離不能太大，一般保持在5~8mm，以縮短探頭接收信號(hào)的距離。③保持好樣品的傾斜度，樣品傾斜10~150，使二次電子發(fā)射及接收的多。④聚光鏡放在600~650 左右，（數(shù)值越大，束斑尺寸越小，分辨率越高）。⑤對(duì)中良好，保證電子束對(duì)中，信號(hào)強(qiáng)，亮度好。⑥及時(shí)更換新的燈絲，使燈絲飽和，束流穩(wěn)定，并使束流值保持在100~150。⑦物鏡光闌合軸好（特征點(diǎn)在2000X 倍以上時(shí)，基本同心聚焦散焦）。⑧延長(zhǎng)抽真空的時(shí)間以提高真空度（一般在30 分鐘以上基本達(dá)到平衡）或檢查真空系統(tǒng)的密封狀態(tài)。

顯微鏡是實(shí)驗(yàn)室最重要的設(shè)備之一，而評(píng)價(jià)光學(xué)顯微鏡及電子顯微鏡性能的重要指標(biāo)都是分辨率。

顯微鏡的分辨率分辨率是指能清楚地分辨兩個(gè)小點(diǎn)或兩線間的最小距離。人眼本身就是一臺(tái)顯微鏡，在標(biāo)準(zhǔn)照明條件下，人眼在明視距離（國(guó)際公認(rèn)為25cm） 上的分辨率約等于1/ 10mm。對(duì)于觀察兩條直線來(lái)說(shuō)，由于直線能刺激一系列神經(jīng)細(xì)胞，眼睛的分辨率還能提高一些，這就是顯微鏡的分劃板使用雙線對(duì)準(zhǔn)的原理所在。

人眼的分辨率只有1/ 10mm， 那么比1/ 10mm 小的物體或比1/ 10mm 近的兩個(gè)微小物體的距離，人眼就無(wú)法分辨了。這時(shí)人們開始研制出放大鏡和顯微鏡，顯微鏡的分辨率定義是指在標(biāo)本上能清楚分辨的兩個(gè)小點(diǎn)之間的最小距離。其計(jì)算公式為：D=0.61λ／N.A.式中：D 為分辨率（μm）；λ 為光源波長(zhǎng)（μm）；N.A 為物鏡的數(shù)值口徑（也稱鏡口率）。