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CMY-420科研級三目正置大平臺金相顯微鏡半導體晶圓材料分析 無限遠光學系統(tǒng) 系統(tǒng)配置了大尺寸、大范圍移動載物臺，適合大工件的檢查

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產(chǎn)品介紹

 

特點：

1、采用優(yōu)良的無限遠光學系統(tǒng)成像清晰并配有直徑22mm的大視野目鏡。

2、系統(tǒng)配置了大尺寸、大范圍移動載物臺，適合大工件的檢查。

3、兩路光路自由切換輸出，一路用于觀察，一路連接攝像裝置。

4、配置了偏光裝置并可選配暗場、微分干涉裝置，拓展了功能

技術參數(shù)

 

顯微鏡參數(shù)：

 

序號

名稱

技術參數(shù)

1

平場目鏡

大視野 WF10X(Φ22mm)

2

無限遠長距平場物鏡

PL L5X/0.12   工作距離：26.1 mm

PL L10X/0.25  工作距離：20.2 mm

PL L20X/0.40  工作距離：8.80 mm

PL L50X/0.70  工作距離：3.68 mm

PL L80X/0.80  工作距離：1.25 mm

3

總放大倍數(shù)

50X-800X

4

觀察頭

三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進行切換)

5

轉(zhuǎn)換器

五孔 (外向式滾珠內(nèi)定位) 

6

粗微調(diào)調(diào)焦范圍

粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值0.7μm, 粗動松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置

7

載物臺

機械式載物臺，外形尺寸：280mmX270mm，移動范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm

8

光瞳距離

53-75mm

9

濾色片

(黃、藍、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置

10

偏光裝置

推拉式檢偏器與起偏器

11

落射照明系統(tǒng)

6V30W鹵素燈,亮度可調(diào)內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄
 

12

儀器重量

凈重11.0公斤    毛重12.5公斤

13

儀器尺寸

儀器尺寸44X45X42（cm） 包裝尺寸45X50X50(cm)

 

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