MX4RT微分干涉工業(yè)檢測顯微鏡金相顯微鏡 /工業(yè)檢測顯微鏡/微分干涉顯微鏡

SKU: MX4RT

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡介：

MX4RT微分干涉顯微鏡具備明場觀察，偏光觀察以及DIC觀察三種觀察模式，可以觀察FOGCCOG爆破粒子狀態(tài)結(jié)構(gòu)。

產(chǎn)品性能特點：

MX4RT為新型FPD檢查顯微鏡，專為LCD行業(yè)/ TFT玻璃/COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查

MX4RT采用6寸平臺設(shè)計，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查

MX4RT采用長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長壽命LED光源。

序號	名稱	技術(shù)參數(shù)
1	平場目鏡	大視野PL10X/22mm
2	金相物鏡	無限遠長工作距平場消色差金相物鏡5X-DIC，WD=10.8mm，NA=0.15
		無限遠長工作距平場消色差金相物鏡10X-DIC，WD=12.2mm，NA=0.30
		無限遠長工作距平場消色差金相物鏡20X-DIC，WD=4mm，NA=0.45
		無限遠長工作距平場消色差金相物鏡50X，WD=7.9mm NA=0.55
3	總放大倍數(shù)	50X-500X
4	觀察頭	鉸鏈式三目，30°傾斜，分光比：三目50%/50%
6	調(diào)焦機構(gòu)	透反機架，前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu)，粗調(diào)每轉(zhuǎn)行程：30mm，微調(diào)精度：0.001mm，帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置，內(nèi)置5WLED透射光照明系統(tǒng)，上下光可獨立控制
7	載物臺	6英寸三層機械移動平臺，低手位X\Y方向同軸調(diào)節(jié)，平臺面積445mmX240mm，移動范圍：158mmX158mm，玻璃載物平臺
8	偏光附件	檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路
9	攝像接口	0.5X攝像接口，C型接口
10	照明系統(tǒng)	寬電壓100V~240V，5W暖色LED落射光照明系統(tǒng)，帶視場光闌與孔徑光闌，中心可調(diào)。


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